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二维压电扫描台 ║P541S

产品参数
运动轴 X,Y
行程 150μm
分辨率 0.75nm
外形尺寸 150x150x20mm
中空尺寸 66x66mm
结构类型 机构放大式并联结构

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二维压电扫描台 ║P541S是采用压电陶瓷驱动的二维并联压电纳米位移台,压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了位移台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级压电扫描台内部采用并联式超薄式结构设计 , 结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。

◆ 外形尺寸:150x150x20mm,中空尺寸:66x66mm

◆ 行程为150µm,分辨率为0.75nm;

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链并联导向系统,质量更轻、惯量更低、动态性更高;

◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

专业知识与技术

  • 研生首创,国际技术领先:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统

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二维压电扫描台 ║P541S

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